deposición química de vapores

(steam chemical deposition) Quím. Procedimiento para la obtención de productos de gran pureza, consistente en la descomposición térmica de un reactivo gaseoso y ulterior deposición del producto resultante. P. ej., la obtención de carburo de silicio por descomposición de alquilsilanos en un reactor de plasma por encima de 1 000 °C.