Ver el código de «deposición química de vapores»

=deposición química de vapores=
(''<span style="color: green;">steam chemical deposition</span>'') ''Quím[[Category:Química]].'' Procedimiento para la obtención de productos de gran pureza, consistente en la descomposición térmica de un reactivo gaseoso y ulterior deposición del producto resultante. P. ej., la obtención de carburo de silicio por descomposición de alquilsilanos en un reactor de plasma por encima de 1 000 °C.